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A.产品及工艺描述：

B.查勘要点

一、防火设计标准 

1.厂区防火设计标准

2.主要的消防系统诸如消防泵、FM-200系统、喷淋阀所采用标准

二、洁净室 

（一）洁净室面积

（二）洁净室洁净等级

（三）黄光区面积

（四）黄光区洁净等级

三、建筑防火间隔

（一）Fab互相之间连接情况，是否有多个Fab，有无连廊，具体的防火门设计标准

（二）洁净室/无尘室同其他区域间的防火间隔情况

（三）洁净室内部隔断使用材质和耐火时间

（四）步进机（或者整个黄光区）和离子植入机是否有单独的隔间

四、消防系统

（一）烟感系统类型

（二）洁净室/无尘室具体的喷淋类型 

（三）非洁净室/无尘室是否安装有喷淋系统，中控室是否为CO2或哈龙系统

（四）灭火器设置的位置、类型和数量（电气室、生产车间等区域不能用干粉灭火器）

（五）消火栓的设置、消防水供给情况

五、危险品管理

（一）特种气体采用何种方式存储、使用何种探测系统和灭火系统，是否有紧急切断装置。

（二）液体化学品存储区是否有防火墙同其他区域分隔

（三）洁净室/无尘室内危险品存量为几天的用量